I. Tábhacht an Fhoinse Teasa
Tá sciath galú ar cheann de na teicníochtaí tábhachtacha i sil-leagan fisiceach gaile (PVD). Is é a chroíphrionsabal ná an t-ábhar brataithe a théamh chun é a ghalú isteach i adaimh ghásacha nó i móilíní, a thaisceann ansin ar dhromchla an tsubstráit chun scannán tanaí a dhéanamh. Bíonn tionchar díreach ag an bhfoinse teasa, mar phríomh-chomhpháirt a sholáthraíonn fuinneamh, ar an ráta galú, ar cháilíocht an scannáin (amhail aonfhoirmeacht, dlús, agus íonacht), agus cobhsaíocht an phróisis.
II. Cineálacha Foinse Teasa Coiteann agus Saintréithe Oibriúcháin
Faoi láthair, tá na foinsí teasa a úsáidtear go coitianta i sciath galaithe go príomha i gceithre chatagóir: téamh friotaíochta, téamh bhíoma leictreon, téamh léasair, agus téamh ionduchtaithe. Mar gheall ar mhodhanna teasa éagsúla, léiríonn na foinsí teasa seo difríochtaí suntasacha i ndlús fuinnimh, cruinneas rialaithe teochta, agus ábhair infheidhme.
1. Foinsí Téamh Friotaíocht
Úsáideann téamh friotaíochta teas Joule a ghintear le sruth ag sreabhadh trí eilimint téimh (cosúil le sreang tungstain, bád moluibdín, bileog tantalam, etc.) chun an t-ábhar sciath a théamh go hindíreach. Tá struchtúr simplí aige, ar chostas íseal, agus tá sé éasca a oibriú, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach do mhiotail phointe íseal leá (amhail alúmanam, copar agus airgead) agus roinnt ábhar cumaisc. Mar sin féin, tá a dhlús fuinnimh íseal, rud a fhágann go bhfuil sé deacair ábhair phointe leá ard a ghalú, agus féadfaidh an eilimint téimh imoibriú ceimiceach leis an ábhar galú, rud a fhágann éilliú scannáin.
2. Foinse Téamh Bhíoma Leictreon
Úsáideann téamh léas leictreoin leictreoin ardluais chun dromchla an ábhair bhrataithe a thumadh, agus déantar fuinneamh cinéiteach a thiontú go fuinneamh teirmeach chun galú a bhaint amach. Tá dlús fuinnimh thar a bheith ard ann (suas le 10⁴-10⁶ W/cm²), rud a chuireann ar chumas miotail ardphointe leáphointe (amhail tungstain, moluibdín agus tíotáiniam), criadóireacht agus comhdhúile teasfhulangacha a ghalú. Toisc go bhfuil an t-ábhar bombarded go díreach ag an bhíoma leictreon, éilliú ó eilimintí teasa a sheachaint, a eascraíonn i íonachta scannán ard. Mar sin féin, tá an struchtúr trealaimh casta, tá an costas ard, agus tá gá le coinníollacha dian i bhfolús.
3. Foinse Téamh Léasair
Díríonn téamh léasair léas léasair ardchumhachta ar dhromchla an ábhair bhrataithe, ag baint leasa as ionsú solais chun téamh agus galú áitiúil tapa a bhaint amach. Cuireann sé dlús ardfhuinnimh, limistéir téimh bheachta agus inrialaithe ar fáil, agus-chrios beag a bhfuil tionchar aige ar theas, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach le haghaidh ullmhúcháin scannáin thanaí nanascála agus sciath-foshraitheanna íogaire teasa. Ina theannta sin, tá téamh léasair neamh-teagmhála agus neamhthruaillithe, agus féadann sé ábhair éagsúla a ghalú (lena n-áirítear ábhair chomhchodacha agus grádáin). Mar sin féin, tá córais léasair costasach, tá éifeachtacht chomhshó fuinnimh íseal, agus tá siad ag brath ar shaintréithe ionsú solais an ábhair.
4. Foinse Téamh Ionduchtúcháin
Tá téamh ionduchtúcháin bunaithe ar phrionsabal an ionduchtaithe leictreamaighnéadach, ag giniúint sruthanna eddy laistigh den ábhar brataithe seoltaí chun téamh agus galú a chur faoi deara, nó ábhair neamhsheoltacha a théamh go hindíreach trí bhreogán téite. Tairgeann sé aonfhoirmeacht teasa maith agus cruinneas rialaithe teocht ard, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach do phróisis sciath leanúnach i dtáirgeadh mais. Tá téamh ionduchtúcháin saor ó éilliú leictreoid agus éasca a choimeád ar bun, ach tá a dhlús fuinnimh sách íseal, a úsáidtear go príomha le haghaidh galú ábhair mheánphointe leáphointe go dtí{4}.
III. Príomhghnéithe do Roghnú Foinse Teasa
1. Saintréithe Ábhar Cumhdaithe
- Leáphointe: Le haghaidh ábhair leáphointe íseal (<1500℃), resistance heating is preferred; for high melting point materials (>2000 céim ), ní mór léas leictreon nó téamh léasair a úsáid.
- Imoibríocht Cheimiceach: Ba cheart go seachnódh ábhair an-imoibríocha (cosúil le miotail alcaile agus eilimintí tearc-chré) teagmháil dhíreach le heilimintí teasa friotaíochta; is fearr léas leictreon nó téamh léasair (modh neamhtheagmhála).
- Riachtanais Íonachta: Tá scannáin ard-íonachta ag teastáil le haghaidh scannáin optúla ardchruinneas agus scannáin leathsheoltóra; moltar léas leictreon nó téamh léasair chun éilliú ón eilimint téimh a laghdú.
2. Riachtanais Cháilíochta Scannán
- Aonfhoirmeacht: Maidir le sciath tsubstráit achair mhóra, tá aonfhoirmeacht an fhoinse teasa ríthábhachtach; cuireann téamh ionduchtúcháin agus scanadh téamh léas leictreon buntáistí maidir leis seo.
- Dlús agus Greamaitheacht: Is é an toradh a bhíonn ar fhoinsí teasa ard-dlúis (leictreon-léas, léasair) fuinneamh cinéiteach na gcáithníní galaithe, rud a fhágann go mbíonn dlús scannáin níos airde agus greamaitheacht níos airde le linn na sil-leagain.
- Deposition Rate: Resistance heating offers a lower deposition rate (suitable for thin layers or slow deposition), while electron beams and lasers can achieve high-speed evaporation (>100 nm/s).
3. Eacnamaíocht Próisis
- Costas Trealaimh: Is é trealamh téimh friotaíochta an ceann is saoire, agus tá trealamh léasair agus léas leictreoin níos costasaí; ba cheart go mbeadh an rogha bunaithe ar scála táirgeachta agus ar bhuiséad.
- Ídiú agus Éifeachtúlacht Fuinnimh: Tá éifeachtacht chomhshó fuinnimh níos airde ag téamh ionduchtúcháin agus téamh friotaíochta (50% -70%), agus tá éifeachtacht níos ísle ag téamh léasair (go hiondúil <30%).
- Costais Chothabhála: Tá seans maith go gcaitheann agus go gcaithfí eilimintí teasa friotaíochta agus is minic a bhíonn gá leo a athsholáthar; tá costais chothabhála níos airde ag gunnaí le léas leictreon agus cinn léasair ach saolréanna níos faide.
Conclúid
Áirítear le struchtúir choitianta d’fhoinsí galaithe cornaí bíseacha (oiriúnach d’ábhair fhiliméadacha), tráidirí múnlaithe báid (oiriúnach d’ábhair phúdraithe nó cnapánacha), agus breogáin chónúla (oiriúnach d’ábhair orgánacha nó chreimneach). Ina measc seo, is iad báid tungstain agus báid moluibdín na cinn is minice a úsáidtear. Mar sholáthraí speisialta táirgí miotail neamhfheiriúla, ní hamháin go soláthraíonn FANMETAL na comhpháirteanna foinse galú saincheaptha seo ach tá breis is fiche bliain de shaineolas aige freisin i ndéantúsaíocht agus easpórtáil táirgí miotail lómhara (amhail sreang iridiam platanam, leictreoidí nó spriocábhair). Má tá aon cheist agat faoi shonraí an táirge seo nó fiosrúcháin maidir le praghsáil, ná bíodh drogall ort dul i dteagmháil linn ag admin@fanmetalloy.com. Táimid ag tnúth le do theachtaireacht.
