1. Íonachta
Tá tionchar mór ag íonacht an sprioc tíotáiniam ar airíonna scannáin sputtered. Dá airde íonacht an sprioc, is lú na cáithníní eilimint eisíontais sa scannán sputtered, agus is fearr an fheidhmíocht scannáin (cosúil le friotaíocht creimeadh, airíonna optúla agus leictreacha). In iarratais phraiticiúla, tá riachtanais íonachta spriocanna tíotáiniam chun críocha éagsúla difriúil. . Mar shampla, níl na ceanglais maidir le íonacht na spriocanna maidir le bratuithe maisiúcháin ginearálta éilitheach, agus tá ceanglais i bhfad níos airde maidir le íonacht ag spriocanna ciorcaid chomhtháite, comhlachtaí taispeána agus réimsí eile, go ginearálta thart ar 99.999 faoin gcéad nó níos airde.
2. Meánmhéid gráin
De ghnáth tá struchtúr polycrystalline ag an sprioc tíotáiniam, agus is féidir leis an méid gráin a bheith idir miocrón agus milliméadar. Tá ráta sputtering na sprice gráin mhínmhéide níos tapúla ná an sprioc garbhghráin. Tá dáileadh tiús an scannáin taiscthe spraeála sách aonfhoirmeach freisin. De ghnáth is gá go mbeadh meánmhéid gráin spriocanna tíotáiniam do chiorcaid chomhtháite laistigh de 30 μm, agus tá meánmhéid gráin spriocanna tíotáiniam ultrafine-grained faoi bhun 10 μm.
3. Treoshuíomh criostail
Tá struchtúr heicseagánach dlúthphacáilte ag tíotáiniam. Le linn sputtering, sputtered go héasca adaimh sprioc tíotáiniam feadh an treo socrú heicseagánach na n-adamh. Dá bhrí sin, chun an ráta sputtering is airde a bhaint amach, is féidir an ráta sputtering a mhéadú trí struchtúr criostail an sprioc a athrú. ráta sputtering. Tá tionchar mór ag treo criostalaithe an sprioc tíotáiniam freisin ar aonfhoirmeacht thiús an chiseal scannáin sputtered, agus tá méid scannáin an taispeántais cothrom agus an sciath maisiúil sách tiubh, agus mar sin tá na ceanglais maidir le treoshuíomh gráin an sprioc tíotáiniam comhfhreagrach. sách íseal.
4. Céimseata agus méid
Léirítear é go príomha i gcruinneas próiseála agus cáilíocht próiseála, mar shampla méid próiseála, maoile dromchla, garbh, etc. Cuirfidh tiús beag isteach ar shaol seirbhíse na sprice; beidh dromchla séalaithe ró-gharbh agus groove séalaithe ina chúis le fadhbanna bhfolús tar éis an sprioc a shuiteáil; Is féidir le roughening an dromchla sputtering an sprioc a dhéanamh ar an dromchla an sprioc atá lán de leideanna protruding, faoi ghníomh an éifeacht tip, beidh an poitéinseal na leideanna ardaithe a mhéadú go mór, rud a bhriseadh síos ar an urscaoileadh tréleictreach. Mar sin féin, cuireann brúchtadh ró-mhór isteach ar cháilíocht agus ar chobhsaíocht sputtering.
Is féidir lenár gcuideachta cóimhiotail tíotáiniam a sholáthar marSpriocanna Sputter Alúmanam TíotáiniamagusTíotáiniam Ti Sputtering Sprioc, chomh maith le spriocanna tíotáiniam íonachta agus cruth éagsúla, agus glacadh le seirbhísí saincheaptha freisin. Más gá, déan teagmháil linn trí ríomhphost.
