Is cineál nua de mhodh sciath gaile fisiceach é sciath sputtering Magnetron, a úsáideann córas gunna leictreon chun leictreoin a astú agus a dhíriú ar an ábhar atá le brataithe, ionas go leanann na hadaimh sputtered prionsabal an chomhshó móiminteam, ionas go mbeidh an t-ábhar meicniúil níos airde. maoine. Tugtar sprioc sputtering ar an ábhar atá le plátáil, a chuimsíonn miotail, cóimhiotail agus comhdhúile ceirmeacha den chuid is mó. Is féidir le FANMETAL spriocanna miotail ardchaighdeáin a sholáthar do chustaiméirí, mar shamplaSprioc Sputtering Cróimiam Pure, Sprioc Sputtering Óir,Sprioc Sputtering Alúmanam Tíotáiniamagus Sprioc Sputtering Copper. Seol ríomhphost chugainn le do thoil chun do chuid riachtanas a insint dúinn.
1. Íonachta
Tá íonacht ar cheann de na príomhtháscairí feidhmíochta den sprioc, toisc go bhfuil tionchar mór ag íonacht an sprioc ar fheidhmíocht an scannáin. Mar sin féin, in iarratais phraiticiúla, tá riachtanais íonachta an sprioc difriúil freisin. Mar shampla, le forbairt go mear ar thionscal na micrileictreonaic, tá méadú tagtha ar mhéid na sliseog sileacain ó 6", 8 "go 12", agus laghdaíodh an leithead sreangú ó 0.5um go 0 .25um, 0.18um nó fiú 0.13um. Ba é an íonacht sprice roimhe seo ná 99.995 faoin gcéad Is féidir leis riachtanais phróisis 0.35um IC a chomhlíonadh, agus {{15um) á ullmhú. }} Éilíonn línte 18um 99.999 faoin gcéad nó fiú 99.9999 faoin gcéad den íonacht sprice.
2. Ábhar eisíontais
Is iad neamhíonachtaí sa sprioc soladach agus ocsaigine agus taise sna pores na príomhfhoinsí truaillithe den scannán taiscthe. Tá ceanglais dhifriúla ag ábhair sprice chun críocha éagsúla maidir le hábhar eisíontais éagsúla. Mar shampla, tá ceanglais speisialta ag spriocanna cóimhiotal alúmanaim agus alúmanaim íon a úsáidtear sa tionscal leathsheoltóra maidir le hábhar miotail alcaile agus ábhar eilimint radaighníomhach.
3. Dlús
D'fhonn na pores sa sprioc soladach a laghdú agus feidhmíocht an scannáin sputtered a fheabhsú, de ghnáth is gá go mbeadh dlús níos airde ag an sprioc. Bíonn tionchar ag dlús an sprioc ní hamháin ar an ráta sputtering, ach freisin ar airíonna leictreacha agus optúla an scannáin. Dá airde an dlús sprice, is amhlaidh is fearr feidhmíocht an scannáin. Ina theannta sin, le méadú ar dhlús agus ar neart na sprice, is fearr a bheidh an sprioc in ann an strus teirmeach a sheasamh le linn an phróisis sputtering. Tá dlús ar cheann de phríomhtháscairí feidhmíochta na sprice freisin.
4. Méid gráin agus dáileadh méid gráin
De ghnáth is struchtúr polycrystalline an sprioc-ábhar, agus is féidir leis an méid gráin a bheith idir miocrón agus milliméadar. Maidir leis an sprioc-ábhar céanna, tá ráta sputtering an sprioc le gráinní mín níos tapúla ná ráta sputtering an sprioc le gráinní garbh; agus tá dáileadh tiús an scannáin a thaisceadh ag sputtering le difríocht mhéid gráin níos lú (dáileadh aonfhoirmeach) níos comhionann.
